DPS 2014 » Home


The 36th International Symposium on Dry Process (DPS2014) will be held at Annex Hall of the PACIFICO YOKOHAMA on November 27-28, 2014.
Dry Processes are the state of the art technologies leading the way through ultra-high performance in microelectronic devices. The DPS has provided a valuable forum of discussion on science and technology of new developments in this field for more than three decades.

Important dates

   Abstract Submission Deadline:    August 12, 2014
   Early Registration Deadline:    October 22, 2014
   Late Registration Deadline (Online) :    November 12, 2014

Recent Updates

  • July 25, 2014 Invited Speakers and tentative titles opened.
  • June 25, 2014 On-Line Submission system is open.
  • June 2, 2014 Updeted (News for Japanese members).
  • May 7, 2014  Important dates updated.
  • April 11, 2014  DPS2014 website open.

News for Japanese members

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会の協賛により、「第25回プラズマエレクトロニクス講習会」を DPS前日の11月26日(水)に 東京工業大学 田町キャンパス にて開催致します。
同講習会では、産業応用で必要とされるプロセスプラズマの生成、診断・制御、モニタリング技術の基本と、その先端応用技術について、各分野にて第一線でご活躍の先生方より御講義頂く予定です。詳しくは こちら をご参照ください。